1.急性期：相當於肺野受照射部位呈現一片密度較高的模糊陰影，仔細觀察中間有網織狀陰影，相似於支氣管性及間質性肺炎，但其輪廓完全與照射野的邊緣相一致。有些病變和正常肺野有明顯分界。
2.慢性期：可爲急性期的肺部病變部分吸收並發生纖維化逐漸演變而來，亦可爲開始時即呈慢性變化過程。在放射野出現纖細的或網狀的纖維索條陰影，近肺門處較明顯。約一個月後範圍擴大，纖維索條影增多，密度增高，可互相融合呈緻密塊狀陰影，近中心區密度高，邊緣處可見許多絨毛狀尖刺伸出。在放射治療後4～6個月是纖維變化形態上發展的高峯，以後纖維收縮，病變範圍較前縮小，病竈邊緣有粗索條狀陰影，邊緣銳利，界線分明，同側正常肺野呈代償性氣腫，氣管和心臟被牽引過來，同側橫膈上移。如無併發感染則在一年左右病變漸趨穩定。
